Compact self-matching microwave plasma source with capacitive coupling and inductive loading
Источник Nature 物理科学5 дней назад
Аннотация
Сайт предоставляет только заголовки и индексы аннотаций; полный контент и авторские права принадлежат первоисточнику. Для чтения перейдите по ссылке на оригинал.
Перейти к оригиналу- Канал
- Наука
- Регион
- Глобальный взгляд
- Язык оригинала
- English
- Номер записи
- science-c52dbe85
Comments 0 comments
No comments yet. Be the first.